设计特点:
A.高刚性、无摩擦静压气浮导向实现绝对顺滑的匀速扫描运动
B.超精等级几何精度(直线度、平面度、角度精度)满足高端定位系统需求
C.导轨、电机、编码器实现全面无接触、无磨损
D.内置线缆管理以及模组化XY堆叠设计简化系统集成工作
E.适用于半导体晶圆检测、激光微加工、钻石单晶车床等应用
专业研发团队,助力企业彻底解放劳动力
导轨、电机、编码器实现全面无接触、无磨损。
设计特点:
A.高刚性、无摩擦静压气浮导向实现绝对顺滑的匀速扫描运动
B.超精等级几何精度(直线度、平面度、角度精度)满足高端定位系统需求
C.导轨、电机、编码器实现全面无接触、无磨损
D.内置线缆管理以及模组化XY堆叠设计简化系统集成工作
E.适用于半导体晶圆检测、激光微加工、钻石单晶车床等应用