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PGS-XY特点:堆叠XY平台;高速,高加速;高精度,高刚性;无齿槽力。
设计特点:
A. 堆叠XY平台
B. 高速,高加速
C. 高精度,高刚性
D. 圆晶平台
E. 无齿槽力